Компания «Диполь» поставила первый в России прибор для бесконтактного измерения типа проводимости кремния

Компания «Диполь» осуществила поставку первого в России прибора PN-100 (Semilab, Венгрия) для бесконтактного измерения типа проводимости кремниевых пластин и слитков на предприятие центральной части России.

В приборе PN-100 реализуется метод измерения полярности SPV сигнала (Surface Photovoltage – поверхностное фотонапряжение), который является современной заменой метода термозонда. В сравнении с методом термозонда, метод измерения SPV исключает нагрев подложки/слитка и механический контакт с рабочей поверхностью.

Прибор PN-100 позволяет исключить ошибку в определении типа проводимости пластин на этапе входного контроля и будет полезен всем предприятиям, которые изготавливают или покупают кремниевые подложки для производства полупроводниковых приборов.

Демонстрация работы прибора PN-100 на кремниевых подложках разного типа проводимости: