Производитель Femto Science (Южная Корея) представил на российском рынке несколько модификаций установок плазменной очистки. Данное оборудование предназначено для плазмохимической обработки полупроводниковых пластин, керамических подложек, печатных плат, стекла, кварца и других изделий и материалов. Основное назначение установок — плазменная активация поверхностей, создание гидрофильных или гидрофобных поверхностей, плазменное или реактивно-ионное травление, микрофлюидика, точное приборостроение.
Плазменная очистка и активация поверхности — наиболее распространенные плазменные процессы. В ходе плазменной очистки поверхность материала физически очищается от загрязнений благодаря бомбардировке ионами газа, а также химически — за счет химических реакций. Загрязнения переводятся в газовую фазу и удаляются из камеры откачной системой. В процессе активации на поверхности материала образуются активные радикалы, которые значительно повышают его адгезионные свойства и химическую активность.
Различные варианты материалов камеры (алюминий, кварц) и типов генераторов (20–100 кГц или 13,56 МГц) позволяют получить конфигурацию оборудования, оптимальную для выполнения определенных задач. Из имеющихся установок плазменной очистки особо следует выделить не имеющую аналогов линейку установок CIONE с двумя активными электродами (верхним и нижним), обеспечивающими работу в режиме плазменного травления (PE) или реактивного ионного травления РИТ (RIE) — в зависимости от заданного рецепта. Управление установкой осуществляется при помощи встроенного сенсорного дисплея с GUI-интерфейсом.
Основные преимущества установок Femto Science — компактность, простота использования, функциональность и подтвержденная надежность. Установки плазменной очистки Femtoscience хорошо зарекомендовали себя при эксплуатации в высших образовательных учреждениях, научно-исследовательских лабораториях и на производствах электронной техники.
Установка плазменной очистки CUTE, COVANCE и CIONE
Технические характеристики установок плазменной очистки Femto Sience
|
|
CIONE6-RF-2MP |
CIONE4-LF-2MP | COVANCE-2MP | CUTE-2M |
|
Материал камеры |
Прямоугольная алюминиевая камера с дверцей |
|||
|
Размер камеры |
200×220×160 мм |
140×200×110 мм | 140×200×110 мм | 140×200×110 мм |
|
Газовая система |
Цифровые РРГ, 2 шт. (O2, Ar) Линия продувки и напуска |
|||
| Вакуумный насос |
В комплекте |
|||
| Генератор плазмы |
13,56 МГц (PE+RIE) Макс. 600 Вт |
20–100 кГц (PE+RIE) Макс. 100 Вт |
20–100 кГц (PE) Макс. 100 Вт |
20–100 кГц (PE) Макс. 100 Вт |
| Управление |
Ручное или автоматическое (по рецепту) Цветной сенсорный дисплей 7" |
|||
| Датчик давления |
Пирани |
|||
| Размеры установки (Ш×Г×В) | 600×730×730 мм | 440×500×560 мм | 510×525×640 мм | 440×500×560 мм |
Перечисленные модели оборудования находятся в России и доступны для демонстрации в головном офисе компании «Диполь» в Санкт-Петербурге.
Для приобретения установок плазменной очистки производителя Femto Science можно обратиться в компанию «Диполь» по электронной почте: micro@dipaul.ru, а также по телефону: +7 (812) 702-1266.
