Константин Крупальник, руководитель направления «Микроэлектроника» компании «Диполь»
kk@dipaul.ru
В каталоге «Технологическое оборудование для микроэлектроники 2016» компании «Диполь» машины для фотолитографии занимают центральное место. И это неслучайно, ведь все, что связано с фотолитографией (особенно безмасковой) вызывает огромный интерес заказчиков. В ходе недавнего семинара «Современные решения в фотолитографии» специалисты «Диполя» впервые продемонстрировали участникам новую машину совмещения-экспонирования SLC.
Рис. 1. Установка совмещения-экспонирования AG500-6N-SLC в версии для пластин 60×48 мм
На сегодня контактная фотолитография является достаточно простым и доступным инструментом формирования топологии на подложках, как в варианте для проведения исследований, так и в серийном производстве. Поэтому естественно, что многие заказчики компании «Диполь» интересуются машинами совмещения-экспонирования. Несколько лет назад в нашем каталоге была представлена серия AG500, в которой до настоящего момента был ряд полуавтоматических установок для работы с пластинами размером до 4” и 6” в версиях -4N-ST и -6N-ST соответственно. Преимущества этих машин уже неоднократно отмечались. Следует еще раз напомнить о тех из них, благодаря которым установки завоевали такую популярность среди наших заказчиков:
- гибкость и универсальность оснастки, позволяет машинам AG500 работать с подложками и шаблонами всех типоразмеров, которые используются заказчиками в нашей стране, включая пластины 60×48 мм и шаблоны 75×75 мм;
- при одном нажатии кнопки в полуавтоматическом режиме установка выполняет весь процесс, запрашивая у оператора только точное совмещение меток и подтверждение начала процесса;
- одно из лучших соотношений функционала, качества изготовления и цены.
Таким образом, машина AG500 в версии -ST, по нашему мнению, представляется оптимальным вариантом для выполнения задач совмещения-экспонирования. Почему же появилась версия SLC?
Дело в том, что в нашей стране большое количество заказчиков работает с подложками из поликора и ситалла с типоразмером 60×48 мм. Это традиционная для нас технология, которая не предполагает на данный момент высоких разрешений (менее 1 мкм), а основными критериями, предъявляемыми к оборудованию, служат простота, надежность, повторяемость результата и низкая стоимость. Если к этому набору характеристик добавить удобство работы оператора, то и появляется концепция полностью ручной установки совмещения-экспонирования SLC, которую мы совместно с нашими тайваньскими партнерами — производителями оборудования специально разработали для российских пользователей.
Что же представляет собой машина AG500 в версии SLC и чем она отличается от версии ST? Как было отмечено, машина SLC предполагает полностью ручное управление и не содержит персональный компьютер (ПК) или программируемый логический контроллер (ПЛК), а также различных сложных моторизованных механизмов, контролируемых электроникой. За счет этого функционал установки несколько упрощен, что не критично, например, для работы с топологической нормой более нескольких единиц микрон. В то же время машина становится значительно более надежной, простой и недорогой в изготовлении. Концепция работы SLC предполагает, что оператор производит все действия нажатием кнопок на передней панели установки вместо управления на сенсорном экране ПЛК. Кроме того, в базовой комплектации установка не содержит массивного стола для защиты от вибраций (он предлагается опционально). Это также позволяет сэкономить тем заказчикам, которые не работают с топологиями высокого разрешения. Получается, что SLC это «облегченная» версия машин ST, когда критерии простоты и стоимости важнее высокой точности и максимального разрешения. Следует отметить, что опции по работе с обратной стороной подложки (совмещение по обратной стороне) в настоящий момент недоступны для версии SLC.
К общим характеристикам версий ST и SLC можно отнести высокую производительность, универсальность оснастки для подложек и фотошаблонов, а также наличие видеомикроскопов. Производительность в обеих версиях позволяет засвечивать более 60 пластин в час, в зависимости от применяемого фоторезиста. Разница лишь в том, что в версии ST оператор нажимает одну кнопку и работает с микрометрическими винтами или джойстиком, а в версии SLC оператору необходимо выполнить последовательность действий по нажатию ряда механических кнопок, что более трудоемко. Видеомикроскопы же значительно «облегчают жизнь» оператору: ему не приходится на протяжении всей смены вглядываться в окуляры оптического микроскопа — теперь оператор отслеживает картинку на LCD-экране, где видны яркие, контрастные метки совмещения.
Рис. 2. Система совмещения при помощи видеомикроскопов. Контрастные и четкие метки на мониторах вместо использования оптического микроскопа
Подводя итог, хочется отметить, что теперь в распоряжении компании есть интересное решение по совмещению-экспонированию в сегменте оборудования с ручным управлением. Это машина AG500 серии SLC, позволяющая заказчику за минимальную стоимость получить высоконадежное, точное и удобное оборудование. Наиболее актуальное применение для машин SLC — работа с топологией разрешения более нескольких микрон, в том числе со всеми задачами формирования топологии на поликоре и ситалле с типоразмером 60×48 мм.
В ближайшее время установка AG500-6N-SLC доступна для ознакомления в демозале офиса компании «Диполь» в Санкт-Петербурге. Также мы представим данную машину на выставке «Электронтехэкспо» в 2017 году. Подробную информацию об установках совмещения-экспонирования AG500 SLC можно найти на сайте компании в разделе «Оборудование для микроэлектроники» или запросить ее по электронной почте: micro@dipaul.ru.
