Описание
Полуавтоматические зондовые станции серии X
Полуавтоматические зондовые станции серии X предназначены для тестирования пластин диаметром до 300 мм, позволяют проводить измерения при температурах от -60 ℃ до 300 ℃. Возможность управления зондовой станцией с помощью команд SCPI позволяет автоматизировать процесс измерений и минимизировать человеческий фактор при выполнении измерений
Достоинства моделей серии X:
· Тестирование светодиодов/фотодиодов/лазерных диодов (интенсивность излучения/длина волны)
· Измерение вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик тестируемых материалов/изделий
· СВЧ измерения (до 300 ГГц)
· Измерения в широком диапазоне температур
· Скорость перемещения держателя подложек до 70 мм/с
|
Модель |
X6/X8/X12 |
|
|
Держатель подложек |
Диапазон перемещения XY |
350mm*365mm |
|
Разрешение XY |
0.1мкм |
|
|
Повторяемость XY |
≦±1мкм |
|
|
Скорость перемещения XY |
≦70 мм/с |
|
|
Z Диапазон перемещения |
20мм |
|
|
Z Разрешение |
0.1мкм |
|
|
Z Повторяемость |
≦±1мкм |
|
|
Z Скорость перемещения |
≦20 мм/с |
|
|
Температурный диапазон |
Диапазон |
-60°C-300°C |
|
Стабильность |
0.1°C |
|
|
Разрешение |
0.01°C |
|
|
Оптическая система с многократным увеличением |
Микроскоп с трехскоростным увеличением 15:1, может одновременно показывать изображения с низким, средним и высоким увеличением, легко наводить иглу |
|
|
Широкое применение |
Поддержка тестирования SiC/GaN пластин, тестирование мощных пластин Сменная конструкция держателя пластин для тестирования различных пластин |
|
|
Функции программного обеспечения |
① Поддержка полуавтоматического управления (возможен ручной тест или переход на автоматический) |
|
|
② Автоматическое выравнивание пластин |
||
|
③ Автоматическое измерение размера матрицы |
||
|
④ Автоматическое картирование пластин и удаленный доступ к данным |
||
|
⑤ Свободное управление и программирование входных и выходных параметров |
||
|
⑥ Быстрая интеграция нескольких тестеров |
||
|
⑦ Автоматическая радиочастотная калибровка одной кнопкой, функция автоматической очистки иглы |
||
|
⑧Поддержка тестирования по одной точке и непрерывного тестирования |
||
|
⑨Автоматическое сохранение данных, синхронная обработка данных |
||
|
⑩Классификация результатов тестирования и отображение их разным цветом на карте пластин |
||
|
⑪Контроль предельной скорости и блокировка безопасности |
||
