Ручные зондовые станции для высоко- и низкотемпературных измерений, а также измерений в вакууме СG-серии
|
Модель |
CG-O-2 |
CG-O-4 |
CG-C-2 |
|
|
Держатель подложек |
Размер, дюймы |
2 |
4 |
2 |
|
Фиксация образцов |
Вакуум или прижимное кольцо |
|||
|
Степень вакуума |
10-10 Торр максимум |
|||
|
Оптическая система |
Перемещение микроскопа |
Ось R 360° + смещение оси до 100 мм |
||
|
Увеличение |
Zoom 7:1, разрешение до 4 мкм (при увеличении 216Х) или металлографический микроскоп (20Х – 1000Х) |
|||
|
Размеры смотрового окна, дюймы |
2 |
4 |
2 |
|
|
Температурные характеристики |
Способ охлаждения |
Жидкий азот/ жидкий гелий |
Охлаждающий компрессор |
|
|
Метод контроля температуры |
Ручное/автоматическое управление расходом хладагента открытого цикла |
Автоматическое управление с замкнутым контуром |
||
|
Диапазон |
От 77 К до 473 К/от 4,2 К до 473 К |
От 7,3 К до 473 К |
||
|
Разрешение |
0,001 К |
|||
|
Стабильность |
4,2К ±0,2К / 77К ±0,1К / 373К ±0,08К 4,2К ±0,2К |
|||
|
Способ охлаждения |
Воздух или жидкий азот |
|||
|
Зонды и манипуляторы |
Количество |
До 6 зондов |
||
|
Регулировка |
Ручная |
|||
|
Точность позиционирования |
2 мкм |
|||
|
Токи утечки |
1пА/В при 25℃，100фА/В при 25℃（при использовании экранирующего бокса） |
|||
|
Типы соединителей |
Триаксиальный/SMA/K-тип/оптические кабели |
|||
