Описание
Ручные прецизионные зондовые станции серии H
Зондовые станции серии H предназначены для тестирования пластин диаметром до 300 мм, обладают наилучшими характеристиками точности позиционирования
Достоинства моделей серии Н:
· Быстрая и прецизионная настройка платформы для позиционеров
· Подходит для установки и применения проб-карт
· Прецизионные винты для линейного безлюфтого перемещения
· Тестирование светодиодов/фотодиодов/лазерных диодов (интенсивность излучения/длина волны)
· Измерение вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик тестируемых материалов/изделий
· СВЧ измерения (до 300 ГГц)
|
Модель |
H6 |
H8 |
H12 |
|
|
Габариты (Д*Ш*В/мм) |
756*759*800 |
756*759*800 |
1046*987*828 |
|
|
Масса (кг) |
260 |
280 |
300 |
|
|
Потребляемая мощность |
220VC,50~60Hz |
|||
|
Держатель подложек |
Размеры пластины |
150 |
200 |
300 |
|
Способ фиксации образца |
Кольцевая вакуумная адсорбция (настраиваемая пористая адсорбция) |
|||
|
Подъем держателя подложек |
Функция быстрого перемещения вверх и вниз на 5 мм, |
|||
|
Прецизионное перемещение по вертикали на 6 мм, точность 1 мкм |
||||
|
Перемещение по оси X-Y |
160*160mm |
210*210mm |
310*310mm |
|
|
Точность перемещения |
< 1.0 мкм (~1 mm/rev) |
|||
|
Платформа для микропозиционеров |
Размеры (Д*Ш) |
510mm*740mm |
510mm*740mm |
580mm*1030mm |
|
Расстояние от патрона до платформы |
8 мм (верхняя поверхность патрона и |
|||
|
нижняя поверхность платформы держателя зонда) |
||||
|
Максимальное количество |
До 12 микропозиционеров |
|||
|
Микроскоп |
Тип микроскопа |
Стандартный металлографический микроскоп PSM-1000 / опционально |
||
|
Увеличение |
20-2000X |
|||
|
Микропозиционеры |
Патрон X-Y-Z |
12mm-12mm-12mm / 8mm-8mm-8mm |
||
|
Механическая точность |
10мкм/2мкм/0.7мкм/0,1 мкм |
|||
