3D оптические профилометры MicroProf

В отличии от стилусных профилометров, оптические профилометры выполняют измерения без контакта с рабочей поверхностью, что позволяет использовать данные профилометры как неразрушающее средство контроля на различных этапах производства изделий электроники или в процессе научно-исследовательских разработок. Линейка оптических профилометров MicroProf включает 3 основных типа установок, различающиеся по максимальному размеру образца, с которым позволяет работать профилометр, и степени автоматизации (от ручной до полностью автоматической загрузки пластин из кассеты). Для крупносерийного и автоматизированного производства, где требуется кассетная обработка пластин диаметром 150 – 300 мм, доступны модели MicroProf FS и MiсroProf FE.

Модульность конструкции профилометра позволяет иметь в одной установке несколько оптических методов (датчиков) измерения структур, как на полупроводниковой подложке, так и на печатной плате (PCB), в том числе под воздействием высоких (до 400) или низких (до -80) температур. Тем самым, пользователь получает универсальное оборудование для микроэлектроники в компактном корпусе, решающее широкий спектр задач. Простое и мощное программное обеспечение позволяет быстро проводить точные измерения в соответствии со стандартами DIN EN ISO, SEMI и выполнять 2D/3D анализ данных.

Основные применения

• Измерение рельефа поверхности (геометрические размеры элементов, шероховатость, карта поверхности);
• Измерение канавок с высоким аспектным соотношением (ширина, глубина), межслойных соединений (отверстий), топография поверхности подложки;
• Измерение шариковых выводов припоя (высота, диаметр, копланарность);
• Измерение толщины пластины, разброса по толщине, коробления, изгиба;
• Контроль деформации компонентов плат под термической нагрузкой.

Технические характеристики