Измерительные решения
Оборудование для испытаний на ЭМС
Управление производством

Плазменная обработка

Вид:
Сортировать по:
26 товаров
в каталоге
26 доступно под заказ,
доставка возможна по всей России

Сравнительная таблица основных характеристик

Модель Объем камеры, л Габариты камеры (наиболее популярный вариант исполнения), мм Габариты корпуса установки (Ш×В×Г), мм
Лабораторные и мелкосерийные установки
Zepto 1,7–2,6 Ø105, Г 300 425×185×450
Atto 10,5 Ø211, Г 300 425×275×450
Femto 1,9-6 Ø100, Г 270 345×220×420
Pico 4–15 Ø150, Г 320 550×330×500
Nano 18–36 Ø267, Г 420 580×650×600
Производственные установки
Tetra-30 34–57 305×300×370 600×2200×650
Tetra-100 80–100 400×400×625 600×2200×800
Tetra-150 150 400×325×600 1000×2100×1000
Tetra-Х Специальные установки нестандартных размеров изготовляются по индивидуальному заказу. Производились камеры различных форм объемом более 12 600 л

Опции и справочная информация

Сравнительная таблица различных типов генераторов плазмы

Тип генератора 40/80/100 кГц 13,56 МГц 2,45 ГГц
Примеры применения
  • Back-end (полупроводники, керамика)
  • Очистка PCB и других материалов
  • Активация, травление материалов (различные отрасли промышленности)
  • R&D
  • Front-end и back-end (полупроводники);
  • R&D

Низкая стоимость +++ + ++
Надежность +++ ++ +
Однородность плазмы +++ ++ +
Использование вращающегося металлического барабана +++ +++ +
Скорость травления + +++ +++
Простота ремонта +++ + +++

Примечание. +++ — наилучший показатель

Сравнительная таблица различных типов управления

Ручное Автоматическое (ПЛК) Автоматическое (ПК)
Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются вручную нажатием кнопок на передней панели. Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление также задаются вручную. Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются автоматически после нажатия кнопки «Старт». Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление задаются вручную при помощи ПЛК. Все действия и процессы управляются с сенсорного экрана ПК. Возможно создание и запись рецептов. Программное обеспечение позволяет вести статистику процессов. На экране в реальном времени отображаются графики изменения всех параметров текущего процесса.

Различные опции и оснастка для установок плазменной обработки

Лотки и загрузочные устройства
  • Прямоугольные лотки (алюминий, сталь, стекло, кварц)
  • Лодочки для полупроводниковых пластин (стекло, кварц)
  • Металлические поддоны и держатели для печатных плат
  • Барабаны для обработки деталей и порошков (алюминий, сталь)
Подача газа
  • Ручные расходомеры с игольчатыми клапанами
  • Аналоговые и цифровые РРГ
Насосы
  • Масляные (различного типа)
  • Сухие (мембранные, спиральные)
Датчики давления
  • Датчик Пирани
  • Баратрон на различные диапазоны давления
Комплекты ЗИП
  • Различные варианты по требованию заказчика
Аксессуары
  • Клетки Фарадея для обработки деталей
  • Емкости и системы подачи мономеров в камеру
  • Тестовые чернила для проверки качества плазменной обработки
  • Тестовая бумага для проверки качества плазменной обработки
  • Система медленного напуска камеры
  • Система медленной откачки камеры
  • Другие аксессуары по запросу