Плазмохимическое травление

Вид:
Сортировать по:
27 товаров
в каталоге
26 доступно под заказ,
доставка возможна по всей России

Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления

Характеристика\
Модель
Тип
загрузки
Область загрузки (диаметр, мм) Тип
плазмы
Травление
материалов
Plasma-Therm Vision 320 RIE Открытая / Бокс 305 RIE SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Plasma-Therm Vision 420 RIE Открытая 406 RIE SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Plasma-Therm Takachi ICP Шлюз 200 RIE-ICP GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды
Plasma-Therm Versaline RIE Шлюз/ кассетная/ кластер 200 RIE SiO2, SiNx, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Plasma-Therm Versaline RIE-ICP Шлюз/ кассетная/ кластер 200 RIE-ICP GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды
Plasma-Therm Versaline DSE Шлюз/ кассетная/ кластер 200 ICP Глубокое травление кремния
×

Наш сайт использует технологию Cookie. Оставаясь на ресурсе, Вы принимаете Соглашение об использовании файлов cookie.