Быстрый термический отжиг
Вид:
Сортировать по:
22 товаров
в каталоге
в каталоге
22 доступно под заказ,
доставка возможна по всей России
доставка возможна по всей России
Быстрый термический отжиг – это процесс быстрого нагрева образца в газовой среде или вакууме. Как правило, скорости нагрева составляют от десятков до нескольких сотен °К в секунду. Максимальная температура процесса, в зависимости от используемого материала, может доходить до +1400 °С. При этом время процесса может быть очень коротким и измеряться секундами. Процесс быстрого термического отжига обычно происходит в атмосфере инертного газа или в вакууме. Для таких процессов наиболее широкое распространение получили установки быстрого термического отжига, в которых в качестве нагревателей применяются инфракрасные лампы.
Типичные применения
- Процессы RTP, RTA, RTO, RTN.
- Отжиг контактной металлизации.
- Отжиг в газовой среде: азот, кислород, форминг-газ.
- Имплантационные процессы.
- Фотовольтаика.
- Научно-исследовательские работы и обучение.
Сравнительная таблица основных характеристик установок быстрого термического отжига UniTemp серии RTP и VPO
| Характеристика/Модель | Рабочая область, мм | Максимальная температура, °С | Скорость нагрева, K/с | Способ загрузки | Мощность нагревателей, кВт | Габариты, мм/Вес, кг |
|---|---|---|---|---|---|---|
| RTP 100 | 100×100×10 | +1200 | 150 | фронтальная | 18 | 505×504×420/55 |
| RTP 100-HV | 100×100×10 | +1200 | 150 | фронтальная | 18 | 505×504×580/65 |
| RTP 150 / RTP 150-EP | 156×156×40 | +1000 / +1200 |
75 / 150 | фронтальная | 21 / 42 | 505×504×420/75 |
| RTP 150-HV / RTP 150-HV-EP | 156×156×40 | +1000 / +1200 |
75 / 150 | фронтальная | 21 / 42 | 505×504×580/80 |
| VPO 1000-300 | 300×300×50 (300×300×100) |
+1000 | 40 | вертикальная | 36 | 505×504×680/100 |
