Описание
Автоматические зондовые станции А-серии
· Высокая эффективность: встроенный модуль предварительного выравнивания собственной разработки, пластины можно загружать и выгружать автоматически без повреждений: измерения на пластине 24/7, безопасное и высокоскоростное измерение пластин в линии.
· Высокая точность: система управления движением с полным замкнутым контуром микронного уровня с системой оптического позиционирования, использующей новейший алгоритм программного обеспечения для обработки изображений для достижения точного автоматического контакта с пробниками.
· Высокая совместимость: манипулятор может принимать различные пластины, такие как ультратонкие/деформируемые/синие пленки/пластины тайко; встроенная конструкция собственной разработки с изменяемой шириной позволяет использовать различные загрузчики пластин
· Высокая стабильность: малый размер и легкий вес, низкая вибрация, низкий уровень шума (A8); конструкция мобильной платформы держателя пластин с низким центром тяжести
|
Модель |
А8 |
А12 |
|
|
Требования |
Питание: 220 В, 50/60 Гц Сжатый воздух: от 0,6 до 0,7 Мпа Вакуум: от -70 до -90 КПа |
||
|
Размер кассеты/пластин |
150 или 200 мм |
200 или 300 мм |
|
|
Пластины |
Диаметр пластин, дюймы |
6 или 8 |
8 или 12 |
|
Толщина пластины, мкм |
От 200 до 2200 |
||
|
Масса |
До 500 г |
||
|
Размер кристалла |
От 300 до 100000 мкм |
||
|
Держатель пластин |
Перемещение XY |
260 х 450 мм |
Ось Х: ±170 мм Ось Y: -180 мм, +600 мм |
|
Разрешение XY |
0,1 мкм |
||
|
Повторяемость установки XY |
Не более 1 мкм |
||
|
Скорость перемещения |
200 мм/с |
240 мм/с |
|
|
Перемещение по оси Z |
0 – 80 мм |
||
|
Разрешение по Z |
0,1 мкм |
||
|
Повторяемость установки Z |
Не более 1 мкм |
||
|
Угол поворота |
±10˚ |
||
|
Разрешение угла поворота |
0,0001” |
||
