Описание
Описание
Матричный коммутатор Keysight B2200A позволяет снизить стоимость испытаний, обеспечивая возможность автоматизации процесса измерения параметров полупроводниковых устройств без снижения измерительных характеристик параметрических анализаторов. Он поддерживает полную конфигурацию Кельвина и включает до 4 модулей источников/измерителей (SMU) и измеритель емкости, при этом обеспечивается возможность для дальнейшего расширения функций в будущем. Он оснащен 14 входами, каждый из которых имеет свой уникальный внутренний измерительный тракт. Для двух входов может быть использована специальная функция компенсации при измерении емкости. Матричный коммутатор обеспечивает управление с передней панели с помощью клавиатуры или дополнительного светового пера и поддерживает работу с другими приборами, такими как генераторы импульсов.
Требования промышленности
Проведение всех параметрических измерений, необходимых для многочисленных тестовых структур на полупроводниковой пластине, может оказаться длительным, трудоемким и дорогостоящим процессом. Учитывая, что цена устройств для конечных потребителей продолжает падать, от разработчиков требуется снижение затрат даже на лабораторные испытания. Использование матричных коммутаторов с полуавтоматическими или полностью автоматическими установками зондового контроля полупроводниковых пластин позволяет автоматизировать параметрические испытания и исключить необходимость ручной перестановки пробников каждый раз, когда требуется протестировать новое устройство. За счет этого можно добиться снижения как времени испытаний, так и их стоимости.
Многие из существующих матричных коммутаторов имеют свойственные им ограничения. Например, некоторые матричные коммутаторы ухудшают характеристики параметрических анализаторов при измерении малых токов и становятся «слабым звеном» в цепочке измерений. Матричный коммутатор с недостаточным числом внутренних измерительных трактов не способен поддерживать ни полную конфигурацию Кельвина (4-проводную схему измерения), ни измеритель емкости. Такой коммутатор требует вручную изменять соединения кабелей каждый раз при переходе с измерения вольт-амперных характеристик (ВАХ, IV) на измерение вольт-фарадной характеристики (ВФХ, CV). Наконец, если матричный коммутатор при измерении емкости не обеспечивает компенсацию погрешностей, связанных с длиной измерительного тракта, то результат измерений будет неточным.
Высокие характеристики матричных коммутаторов
Базовый блок матричного коммутатора B2200A характеризуется исключительно малыми токами утечки и обеспечивает измерение емкости без ограничений, присущих альтернативным техническим решениям. Способность поддерживать измерения малых значений тока на уровне 1 фA означает, что этот матричный коммутатор не ухудшает рабочих характеристик высокопроизводительного параметрического анализатора. Входы поддерживают полную конфигурацию Кельвина на основе 4 модулей источников/измерителей. Каждый из 14 входов имеет свой уникальный внутренний измерительный тракт, поэтому все они могут использоваться одновременно. В отличие от других технических решений, при использовании этого прибора результат измерения емкости не искажается из-за различий в длине измерительных трактов. Гибкость использования обеспечивается модульной структурой, которая поддерживает конфигурации с 12, 24, 36 или 48 выходами. Полоса пропускания 30 МГц допускает использование измерительных приборов, таких как генераторы импульсов. Управление коммутатором осуществляется с помощью светодиодного дисплея, клавиатуры и дополнительного светового пера.
- Не отставать от производительности современных параметрических анализаторов Современные параметрические анализаторы имеют очень высокие характеристики. Благодаря способности поддерживать измерения тока с разрешением 1 фA матричный коммутатор B2200A не ухудшает рабочих характеристик высокопроизводительного параметрического анализатора.
- Избежать ограничений производительности при использовании коммутаторов Благодаря наличию в матричном коммутаторе B2200A 14 внутренних измерительных трактов удается избежать трудоемкого ручного переключения входов. Все входы имеют свои внутренние измерительные тракты, работающие одновременно.
- Точное измерение емкости При измерении емкости на конечный результат оказывает существенное влияние общая длина измерительного тракта, которая включает длину кабеля и длину внутреннего измерительного тракта коммутатора. При использовании двух входов с разъемами BNC, которые оптимизированы для выполнения измерений емкости, матричный коммутатор B2200A — в отличие от других технических решений — обеспечивает коррекцию ошибок, вносимых длиной сигнального тракта матричного коммутатора, что позволяет выполнять точные измерения емкости.
