Описание
Эллипсометр Semilab SE-1000 имеет модульную конструкцию и представляет собой высокоэффективный измерительный прибор, который, благодаря компактности и функциональности, прекрасно подходит для решения R&D задач. Прибор оснащен ручным гониометром, образцы на столике перемещаются вручную. Гибкая конфигурация эллипсометра позволяет добавлять в конструкцию электрофизические методы измерений.
Прибор позволяет проводить бесконтактный, неразрушающий оптический анализ одно- и многослойных структур на подложках диаметром до 200 мм, а также определять толщину тонкопленочных образцов и их оптические свойства. Метод вращающегося компенсатора (rotating compensator), реализованный в конструкции эллипсометра SE-1000, обеспечивает постоянство поляризации падающего света для получения воспроизводимых результатов. Система оснащена специальным программным обеспечением для проведения измерений и анализа полученных данных (SAM/SEA). Имеется встроенная библиотека материалов (более 500) с известными показателями преломления и поглощения. Управление системой осуществляется с помощью стационарного ПК или ноутбука через внешнюю сеть, или же с помощью интерфейсной сенсорной панели.
Узнать теоретические основы эллипсометрии, а также особенности моделей и принцип работы эллипсометров Semilab, можно в нашей статье - «Эллипсометрия в микроэлектронике».
Режимы измерений:
- спектральная эллипсометрия с вращающимся компенсатором;
- эллипсометрия анизотропных образцов;
- 11 коэффициентов матрицы Мюллера;
- матрица Джонса;
- поляриметрия (измерение степени поляризации света и угла поворота плоскости поляризации света при прохождении его через оптически активные вещества);
- порометрия (патент Semilab): измерение распределения пор по размерам (от 0,5 до 60 нм) и пористости тонких пленок;
- режим измерения в реальном времени для контроля процесса осаждения или травления пленки (опция in-situ).
Доступные опции:
- Микроспот;
- Расширение спектра в область ближнего ИК диапазона;
- Порометрия тонких пленок;
- Высокотемпературные (до 1000°С) и низкотемпературные (до -196°С) исследования;
- Испытания в жидкости;
- Вертикальная видеокамера;
- Спектроскопический рефлектометр (380 – 990 нм).
Технические характеристики:
| Технические характеристики эллипсометра SE-1000 | |
|---|---|
| Спектральный диапазон |
380 … 1000 нм (стандарт) 245 … 1000 нм (опция) |
| Источник света | Ксеноновая лампа 75 Вт |
| Размер пятна | 365х470 мкм |
| Время измерения по всему спектральному диапазону | 1 сек |
| Подложкодержатель |
Фиксированный Ø200 мм Ручное позиционирование по XY: 60х60 мм (опция 100х100 мм) Ручная подстройка по Z Центрирующие пины для позиционирования образца |
| Гониометр |
Ручной Угол наклона 60° - 75° с шагом 5° (опция от 40°) Измерение пропускания и калибровка при угле 90° |
| Управление | ПК или ноутбук с комплектом специализированного ПО для измерений (SAM) и анализа данных (SEA) |
| Точность измерений на стандартном образце ~1200A SiO2/Si |
Толщина: <9 A Воспроизводимость толщины (1σ): < 0,3 A Показатель преломления: < 0,009 Воспроизводимость показателя преломления (1σ): < 0,003 |
| Габариты (ДхШхВ) | 1141х715х850 мм |
