Газовый шкаф для подачи жидких реагентов LCSS-200
| Модель | LCSS-200 |
| Управление | PLC OMRON |
| Потребление | 220 В, 20 А, 50 Гц |
| Размеры | 600×566× |
| Подача по вертикали | 9,1 м |
| Подача по горизонтали | 30,5 м |
| Монтаж в ЧПП | Подходит для установки в ЧПП класса ИСО6 и ИСО 7 |
| Может быть использован для подачи | TEOS, TiN и др. |
