Металлоорганические соединения
МОС — органические соединения, в молекулах которых атом металла непосредственно связан с атомом углерода.
Эпитаксиальный рост полупроводников осуществляется в результате термического разложения металлорганических соединений (МОС), содержащих необходимые химические элементы, с последующей химической реакцией между возникающими компонентами на нагретой подложке.
Эпитаксиальный рост монокристаллических слоев полупроводников из газовой фазы широко используется в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Спецификация
