Плазменные генераторы ГСВМ
- Частота выходного сигнала 13.56, 27.12, 40.68, 60, 81.36 МГц
- Максимальная выходная мощность 3/10/40 кВт
- Режимы работы: непрерывный, импульсный
- Импеданс: 50 Ом
- 2-ая гармоника -40 дБн
- Управление по LAN, USB, RS-232
Плазменные генераторы ГСВМ, работающие на частотах 13.56, 27.12, 40.68, 60, 81.36 МГц, могут применяться при производстве полупроводниковых приборов на этапах плазменного осаждения, плазменного травления, плазменной очистки, а также в научно-исследовательских установках.
Технические характеристики
| Параметр/Артикул | ГСВМ1356М | ГСВМ2712М | ГСВМ4068М | ГСВМ60М | ГСВМ8136М |
|---|---|---|---|---|---|
| Частота | 13.56 МГц | 27.12 МГц | 40.68 МГц | 60 МГц | 81.36 МГц |
| Макс. выходная мощность | 40 кВт | 10 кВт | 3000 Вт | 3000 Вт | 3000 Вт |
| Устанавливаемая мощность | 1-40 кВт | 1-10 кВт | 1-3000 Вт | 1-3000 Вт | 1-3000 Вт |
| Импеданс | 50 Ом | 50 Ом | 50 Ом | 50 Ом | 50 Ом |
| Режимы работы | непрерывный, импульсный | непрерывный, импульсный | непрерывный, импульсный | непрерывный, импульсный | непрерывный, импульсный |
| Стабильность по частоте | ±50 ppb | ±50 ppb | ±50 ppb | ±50 ppb | ±50 ppb |
| Стабильность по мощности | ±0.2 дБ | ±0.2 дБ | ±0.2 дБ | ±0.2 дБ | ±0.2 дБ |
| 2-ая гармоника | ≤−40 дБн | ≤−40 дБн | ≤−40 дБн | ≤−40 дБн | ≤−40 дБн |
| Напряжение питания | 380 В/ 50 Гц | 380 В/ 50 Гц | 208 В/ 50 Гц | 208 В/ 50 Гц | 208 В/ 50 Гц |
