Производитель: JFP Microtechnic
Рабочее поле | 240×90 мм |
Шаг перемещения по осям X/Y | 1 мкм |
Точность позиционирования | 5 мкм |
Размер кристаллов |
min 150×150 мкм max 50×50 мм |
Тип носителей кристаллов |
пластиковая тара waffle-pack; гелевая упаковка gel-pack; пленка-носитель на пяльцах или рамке до 200 мм |
Размер корпуса или подложки | max 150×500 мм, керамика, печатная плата или корпус |
Тип прижима корпуса на рабочем столе | вакуумный или механический |
Программируемые параметры |
давление при монтаже 0–3000 гс; длительность прижима 0–999 с; нагрев подложки до +450 °С (стандарт — 8 °С/с, опция — 50 °С/с) ввод и запоминание 1 или 2 реперных точек режим индексера с заданием шага по X/Y |
Видеосистема |
ПЗС-камера высокого разрешения; регулируемое увеличение |
Габаритные размеры | 750×700×600 мм, высота на станине — 1300 мм |
Масса | 60 кг |
Питание | 220 В/50 Гц, 500 Вт |
Сжатый воздух | 5 бар |
Вакуум | 0,3 бар, 10 л/мин |