Описание
Ручные зондовые станции серии M
Компактные зондовые станции серии M подходят для измерений на полупроводниковых пластинах диаметром до 150 мм. Являются идеальным решением для университетов и научно-исследовательских институтов.
Особенности моделей серии M:
· Малые габариты и вес
· Низкая стоимость
· Прецизионные винты для линейного безлюфтого перемещения
· Тестирование светодиодов/фотодиодов/лазерных диодов (интенсивность излучения/длина волны)
· Измерение вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик тестируемых материалов/изделий
· СВЧ измерения до 67 ГГц
|
Модель |
M4 |
M6 mini |
M6 |
|
|
Габариты (Д*Ш*В/мм) |
650*490*620 |
650*490*620 |
650*490*620 |
|
|
Масса (КГ) |
45 кг |
47 кг |
52 кг |
|
|
Потребляемая мощность |
220VC,50~60 Гц |
|||
|
Держатель подложек |
Размеры пластины |
100 мм |
150 мм |
150 мм |
|
Способ фиксации образца |
Кольцевая вакуумная адсорбция (пористая адсорбция может быть настроена индивидуально) |
|||
|
Перемещение по оси X-Y |
100*100 мм |
150*150 мм |
150*150 мм |
|
|
Точность перемещения |
10мкм |
|||
|
Платформа для микропозиционеров |
Размер (Д * Ш) |
540мм*310мм |
||
|
Расстояние от держателя до платформы |
8 мм |
|||
|
Количество микропозиционеров |
До 6 |
|||
|
Микроскоп |
Тип микроскопа |
Стандартный стереомикроскоп (дополнительный видеомикроскоп) |
||
|
Увеличение |
16~100X |
|||
|
Ход управления микроскопом |
Поворот на 360˚ |
|||
|
Ось Z: 50,8 мм |
||||
|
Микропозиционеры |
Перемещение по оси X-Y-Z |
12мм-12мм-12мм |
||
|
Механическая точность |
10мкм/2мкм/0.7мкм |
|||
