Описание
Ручные зондовые станции для СВЧ измерений серии E
Зондовые станции серии E подходят для измерений на полупроводниковых пластинах диаметром до 300 мм, а также для тестирования печатных плат и СВЧ модулей. В серию входят 3 модели, отличающиеся максимальным диаметром тестируемых пластин.Особенности моделей серии E:
· Компактный дизайн
· Низкая стоимость
· СВЧ измерения (до 300 ГГц)
· Прецизионные винты для линейного безлюфтого перемещения
· Тестирование светодиодов/фотодиодов/лазерных диодов (интенсивность излучения/длина волны)
· Измерение вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик тестируемых материалов/изделий
|
Модель |
E4 |
E6 |
E8 |
E12 |
|
|
Габариты (Д*Ш*В/мм) |
680*670*760 |
680*670*760 |
750*670*800 |
1030*800*850 |
|
|
Масса (кг) |
90 |
95 |
110 |
210 |
|
|
Потребляемая мощность |
220VC,50~60 Гц |
||||
|
Держатель подложек |
Размеры пластины |
100 |
150 |
200 |
300 |
|
Способ фиксации образца |
Кольцевая вакуумная адсорбция (настраиваемая пористая адсорбция) |
||||
|
Подъем держателя подложек |
Функция быстрого перемещения вверх и вниз на 5 мм, |
||||
|
Прецизионное перемещение по вертикали на 6 мм, точность 1 мкм |
|||||
|
Перемещение по оси X-Y |
100*100mm |
150*150mm |
200*200mm |
250*250mm |
|
|
Точность перемещения |
10мкм |
||||
|
Платформа для микропозиционеров |
Размеры (Д*Ш) |
550*405mm |
720*405mm |
980*480mm |
|
|
Расстояние от патрона до платформы |
8 мм |
||||
|
Максимальное количество |
6 |
8 |
10 |
||
|
Микроскоп |
Тип микроскопа |
Металлографический микроскоп |
|||
|
Увеличение |
20-2000X |
||||
|
Микропозиционеры |
Перемещение по оси X-Y-Z |
12mm-12mm-12mm |
|||
|
Механическая точность |
10μm/2μm/0.7μm |
||||
