Ручные зондовые станции для высоко- и низкотемпературных измерений С-серии

Модель

С6

С8

С12

Держатель подложек

Размер, дюймы

6

8

12

Перемещение по осям XY, мм

205 х 205

305 х 305

Точность перемещения, мкм

1

Экранированная камера

да

Оптическая система

Микроскоп с тремя степенями увеличения, может одновременно показывать изображения с низким, средним и высоким увеличением.

Температурные характеристики

Диапазон

От – 60 до 300 ˚С

Разрешение

0,01 ˚С

Точность поддержания температуры

±0,1 ˚С

Способ охлаждения

Воздух или жидкий азот