Ручные зондовые станции для высоко- и низкотемпературных измерений, а также измерений в вакууме СG-серии

Модель

CG-O-2

CG-O-4

CG-C-2

Держатель подложек

Размер, дюймы

2

4

2

Фиксация образцов

Вакуум или прижимное кольцо

Степень вакуума

10^-10 Торр максимум

Оптическая система

Перемещение микроскопа

Ось R 360° + смещение оси до 100 мм

Увеличение

Zoom 7:1, разрешение до 4 мкм (при увеличении 216Х) или металлографический микроскоп (20Х – 1000Х)

Размеры смотрового окна, дюймы

2

4

2

Температурные характеристики

Способ охлаждения

Жидкий азот/ жидкий гелий

Охлаждающий компрессор

Метод контроля температуры

Ручное/автоматическое управление расходом хладагента открытого цикла

Автоматическое управление с замкнутым контуром

Диапазон

От 77 К до 473 К/от 4,2 К до 473 К

От 7,3 К до 473 К

Разрешение

0,001 К

Стабильность

4,2К ±0,2К / 77К ±0,1К / 373К ±0,08К 4,2К ±0,2К

Способ охлаждения

Воздух или жидкий азот

Зонды и манипуляторы

Количество

До 6 зондов

Регулировка

Ручная

Точность позиционирования

2 мкм

Токи утечки

1пА/В при 25℃，100фА/В при 25℃（при использовании экранирующего бокса）

Типы соединителей

Триаксиальный/SMA/K-тип/оптические кабели