Производитель: Koh Young
Оборудование серии Meister – это решение автоматизированного контроля в области электроники и полупроводников, обеспечивающие высокий уровень производительности, точности и ПЧ (пластин в час) с минимальными затратами.
Установки автоматической оптической 3D-инспекции серии Meister предоставляют нашим клиентам наиболее гибкую и оптимизированную систему контроля, доступную в области информационно-коммуникационных технологий (ИКТ), сохраняя при этом высокий стандарт качества и производительности.
Meister-SPi сочетает в себе наши инновационные алгоритмы технического зрения с передовой оптикой высокого разрешения для полупроводниковой промышленности.
Благодаря данным инновационным технологиям компания Meister-SPi стремится обеспечить лучшую в своем классе производительность, функциональность и доступность.
Возможности инспекции Meister-SPi уже квалифицированы для массового производства крупными полупроводниковыми предприятиями в Азии.
|
Meister-MCi объединяет в себе весь опыт компании Koh Young в области контроля полупроводников.
Предоставляет количественные данные 3D-измерений и помогает повысить производительность и надежность продукции. |
|
Удобная для пользователя настройка ПО для инспекции
Meister-ECi предназначен для контроля корпусов и встроенных компонентов с возможностью 3D-инспекции.
Запатентованная технология RASI (интерферометрия для быстрого сканирования области) позволяет контролировать объекты независимо от свойств материала.
Эта не имеющая аналогов технология позволяет Meister-ECi быстро обнаруживать и анализировать дефекты для широкого спектра современных корпусов ИС.
Meister-Ci обеспечивает высокоскоростную двухмерную инспекцию для современных корпусов ИС.
Основывается на новом механизме ИИ (искусственный интеллект), оптимизированном для обнаружения растрескиваний, царапин, пятен и сколов при сохранении высокой скорости инспекции.
|
|
|
|
| Трещина | Царапина | Скол | Пятно |
| Носители для обработки | Слоистая конструкция, металлический носитель, Strip on Boat, лоток JEDEC, кольцевая рамка для полупроводниковых пластин, базовая полупроводниковая пластина |
| Типы корпусов | Разветвление на выходе, WLCSP, встраиваемые, SiP, перевернутый кристалл, PoP |
| Типы объектов |
|
| SPC | Проводите необходимые анализы с помощью интуитивно понятного графического интерфейса и ускоряйте анализ первопричин для увеличения времени безотказной работы оборудования |
| Контрольная станция | Станция на базе ПК для контроля и классификации обнаруженных дефектов |
| Автоматическое программирование | Создание стандартизированного процесса программирования для обеспечения постоянного контроля уровня качества на различных участках и объектах |
| Средство управления архивом файлов | Хранение и распределение файлов заданий и условий инспекции из централизованной базы данных по нескольким машинам |
| KYCal | KYCal поддерживает простое в использовании решение для калибровки камеры, освещения и высоты |
| Точность | Повторяемость (при 3σ) | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Образец для калибровки | Эталонный образец | 008004 Печатный вывод | |||
| Высота | ±1 мкм | Высота | 0,2 мкм | 0,3 мкм | |
| Площадь / объем | В зависимости от настройки | Площадь / объем | < 0,3% | < 4% | |
| Точность | Повторяемость (при 3σ) | |||
|---|---|---|---|---|
| Образец для калибровки | 01005 Пассивный компонент | |||
| Высота | ±3% | Ширина | 3,0 мкм | |
| Площадь / объем | В зависимости от настройки | Длина | 5,2 мкм | |
| Высота | 3,9 мкм | |||
| Точность | Повторяемость (при 3σ) | |||
|---|---|---|---|---|
| Образец для калибровки | Эталонный образец KY | |||
| Высота | ±1 мкм | X | 4,4 мкм | |
| Площадь / объем | ±1 мкм | Y | 2,1 мкм | |
| Z | 4,2 мкм | |||
| L | XL | |||
|---|---|---|---|---|
| Ширина | 1000 мм (39,3 дюйма) | 1000 мм (39,3 дюйма) | 1350 мм (53,1 дюйма) | 1350 мм (53,1 дюйма) |
| Длина | 1280 мм (50,3 дюйма) | 1460 мм (57,4 дюйма) | 1460 мм (57,4 дюйма) | 1460 мм (57,4 дюйма) |
| Высота | 1727 мм (67,9 дюйма) | 1727 мм (67,9 дюйма) | 1727 мм (67,9 дюйма) | 1727 мм (67,9 дюйма) |
| F | 985 мм (38,7 дюйма) | 985 мм (38,7 дюйма) | 1165 мм (45,8 дюйма) | 1165 мм (45,8 дюйма) |
| Питание | 200–240 В пер. тока, 50/60 Гц одна фаза, 5 кгс/см2 | |||
| MeisterS | MeisterM | MeisterE | MeisterC | |
| Печатный вывод | • | |||
| Расплющенный вывод | • | |||
| Шариковый вывод (прикрепленный) | • | • | ||
| Шариковый вывод PoP (встраиваемый) | • | • | ||
| Компоненты (присоединенные) | • | |||
| Компоненты (встроенные) | • | • | ||
| Кремниевый кристалл (присоединенный) | • | • Только трещины | ||
| Кремниевый кристалл (встроенный) | • | • | • Только трещины |