Компания SPS-Europe представляет оборудование производства Prosys Inc (США) для мегазвуковой отмывки материалов. Инженеры компании Prosys являются экспертами в области производства оборудования и оснастки для мегазвуковой обработки.
В каталоге компании Prosys представлены как готовые решения в виде настольных установок мегазвуковой обработки, так и компоненты для встраивания в различное оборудование или технологические линии. Например, модули мегазвуковой отмывки Megpie могут использоваться в составе центрифуг серии Spin150i/200i для обеспечения комбинированной отмывки подложек.
Установка Prosys — Tabletop Megasonic
Установка Tabletop Megasonic выполнена в едином компактном корпусе, предназначенном для настольного размещения. Корпус установки сделан из нержавеющей стали (кварц и другие материалы опционально). Tabletop Megasonic обрабатывает подложки диаметром до 200 мм и дополнительно может быть укомплектована нагревателем, баком для отмывки. Установка управляется при помощи ЖК-дисплея. Габариты корпуса стандартной версии установки (Ш×В×Г): 600×360×500 мм.
Установка Prosys — Direct Megasonic
Установка Direct Megasonic выполнена в универсальном корпусе, пригодном как для ее встраивания в технологическую линию, так и для использования в качестве отдельно стоящей единицы. Основные преимущества данной системы: прямая мегазвуковая обработка, обеспечивающая высокую однородность процесса; кварцевая ванна, позволяющая работать с большинством реактивов. Размеры ванны и конфигурация корпуса определяются требованиями заказчика.
Показать еще