Скруббер с очисткой плазмой и водой PW-600S
| Поток (slm) | 400-800 (очищаемый газ+продувочный газ) |
| Размеры (мм) | 800×850×1800 |
| Вес (кг) | 220 |
| Сертификация | CE SEMI2 |
| Газовый вход | NW 40, 1-4 порта |
| Выхлоп очищенного газа | NW 100, 1 порт |
| Входное отверстие для отбора проб | ¼ inch Swagelok |
| Вытяжная вентиляция корпуса | 100 мм |
| Электропитание | 380 В, 15 кВт |
| Продувка N2 | ½ inch, 4-6 атм, 1-100 slm |
| Вода | ½ inch, 3-4 атм, 2-5 л/мин |
| Вода для охлаждения | ½ inch, 3-5 атм, 10-25 л/мин |
| Сжатый воздух | ½ inch, 4-6 атм, 50-300 slm |
