Скруббер термической очистки HC-903C
| Поток (slm) | 1500 |
| Размеры (мм) | 900×1200×1700 |
| Вес (кг) | 700 |
| Температура процесса очистки | 850-900оС |
| Вход газа | NW 40 |
| Выход очищенного газа | MF 100 |
| Входное отверстие для отбора проб | ¼ inch Swagelok |
| Вытяжная вентиляция корпуса | Ø104 мм |
| Электропитание | 16 кВт, 380 В |
| Вода для охлаждения | ¾ inch, 3-4 атм, 20 л/мин |
| Вход газа | NW 40 |
| Продувка N2 | ½ inch, 4-7 атм, 100-200 slm |
| Сжатый воздух | ½ inch (1 порт), ¾ inch (1 порт), 4-7 атм, 500-800 л/мин |
