Описание
| Поток (slm) | 100 |
| Размеры (мм) | 750×850×1700 |
| Вес (кг) | 300 |
| Газ | PFC (CF4 SF6, NF3, C2F6, C3F8, C4F8 и другие) |
| Эффективность | Более 95% |
| Электропитание | 12 кВт, 380 В |
| Вход газа | NW 40 |
| Выхлоп очищенного газа | NW 40 |
| Вытяжная вентиляция корпуса | NW 100 |
| Вода для охлаждения | ½ inch, 3-4 атм |
| Продувка N2 | ¼ inch, 4-6 атм |
| Сжатый воздух | ¼ inch, 4-6 атм |
