Описание
Центрифуги SPIN150/200i и Polos 200 Advanced производства компании APT предназначены для поштучной обработки подложек диаметром от 5 мм до 160 мм/260 мм или квадратных образцов с габаритами до 100×100 мм/150×150 мм. Бесшовное исполнение центрифуг из полипропилена (опционально ПТФЭ) позволяет использовать все виды химических реактивов. Для заказа доступны как настольный вариант корпуса, так и встраиваемый вариант для установки центрифуги в столешницу вытяжного шкафа.
Различные системы подачи рабочего вещества в центрифугу, различные варианты держателей подложек, в том числе изготавливаемые под заказ, делают центрифуги SPIN150i/200i и Polos 200 Advanced универсальными практически для любых задач. Кроме нанесения фоторезиста на центрифугах можно проводить проявление, сушку, отмывку и очистку подложек. В качестве опций можно оснастить центрифугу различными дополнительными форсунками, вкладышами, системой мегазвуковой очистки.Управление центрифугой производится при помощи современного сенсорного экрана. Программное обеспечение позволяет осуществлять работу по рецептам. Предусмотрено сохранение данных на USB-носитель.
Сводная таблица параметров центрифуг Spin 150i/200i и Polos 200 Advanced
| Параметр | Spin 150i | Spin 200i | Polos 200 Advanced |
| Максимальный диаметр подложки, мм | 160 | 260 | 260 |
| Скорость вращения, об/мин | 1–12 000 ±1 | ||
| Тип корпуса | Настольный или встраиваемый | ||
| Материал корпуса | Полипропилен (NPP) или политетрафторэтилен (PTFE) | ||
| Тип подачи реактива | Ручной или автоматический | ||
| Кол-во хим. линий | 1-2 | 1-2 | 1-6 |
| Мегазвуковая обработка | - | - | + |
| Отмывка обратной стороны | - | - | + |
| Удаление краевого валика фоторезиста | - | - | + |
| Габариты (Ш×В×Г), мм | 274×250×451 | 380×307×559 | 380×307×559 |
Опции (в зависимости от выбранной модели)
- Комплект ручных дозаторов
- Полуавтоматический дозатор
- Автоматическая система подачи с емкостями для реактивов
- Вакуумный насос (различные варианты)
- Держатель для работы с маленькими образцами и кусочками
- Специальные держатели под заказ
- Центрирующий инструмент
- Съемные вкладыши в чашу
- Форсунка для отмывки обратной стороны
- Форсунка для удаления краевого валика
- Система мегазвуковой очистки
- Другие опции под заказ
Есть в наличии на складе в Санкт-Петербурге!
Подробности у наших менеджеров.
