Установка электронно-лучевой литографии CABL-9000
Установки электронно-лучевой литографии серии CABL позволяют заказчику уверенно работать с топологиями высокого разрешения <10нм. Различные модификации установок: CABL-9000, CABL-UHV и другие позволяют работать с ускоряющим напряжением 50, 100 и 130кВ на подложках 4”, 6”, 8” и образцах произвольной формы.
Основными преимуществами установок CABL являются гибкость конфигурации, надежность, стабильность работы и низкая стоимость по сравнению с аналогичными установками.
Основными преимуществами установок CABL являются гибкость конфигурации, надежность, стабильность работы и низкая стоимость по сравнению с аналогичными установками.
