Установка магнетронного напыления SP-mini
Установка магнетронного напыления SP-mini предназначена для использования в R&D лабораториях и на пилотных производствах. Управление установкой осуществляется при помощи ПКЛ с сенсорным дисплеем.
Технические характеристики:
| Направление распыления катода | Сверху вниз |
| Количество магнетронов | До 3 шт. |
| Диаметр магнетронов | До 4” |
| Диаметр подложек | 2-4” |
| Подогрев подложки | До 250°C |
| Скорость вращения подложки | 5-30 об./мин. |
| Равномерность по толщине | ≤ ±5% |
| Предельное давление | 10-7 Торр |
| Контроль давления | Автоматический |
| Система управления | ПЛК |
| Отслеживание толщины | Время или кварцевый толщиномер |
| Смотровое окно | Есть |
| Опции |
Система нагрева Система охлаждения Другие опции под заказ |
