Установка Accura 100 – это полуавтоматическая установка монтажа кристаллов, которая является универсальной платформой для производства различных микросборок, где требуется точность монтажа post-bond ±0.5 мкм (точность совмещения +/-0.1мкм). Загрузка и выгрузка образцов осуществляются оператором вручную, а сам процесс совмещения и монтажа компонентов в ручном или автоматическом режиме по заданной программе-рецепту при помощи машинного зрения. Установка Accura 100 воплощает высокоточный монтаж кристаллов, гибкость конструкции и легкость управления для производства микросборок с 3D интеграцией.
| Размер подложки (Д×Ш) | 0.2×0.2 - 100×100 мм |
|---|---|
| Размер кристалла (Д×Ш) | 0.2×0.2 - 50×50 мм |
| Монтажная голова | Без подогрева; с нагревом до 450˚С; |
| Привод головы | Моторизованный |
| Усилие монтажа | 1 – 1000 N |
| Точность монтажа (post-bond accuracy) | ±0.5 мкм |
| Точность совмещения (alignment accuracy) | ±0.1 мкм |
| Разрешение по оси Z | 0.01 мкм |
| Рабочий стол X-Y-Theta | Моторизованный |
| Размеры рабочего стола | 22×22 мм, 50×50 мм, 100×100 мм (на выбор) |
| Перемещение по углу | ±5˚, разрешение 1 мкград |
| Нагрев | До 450˚С (опция) |
| Система оптического совмещения | Моторизованный привод |
| Оптика | 2 цифровых камеры с разрешением 0.37 мкм/пиксель |
| Поле зрения | 900×700 мкм |
| Система управления | GUI-интерфейс с сенсорным управлением |
| Габаритные размеры (Ш×Г×В) | 900×1150×2080 мм |
| Вес | 550 кг |
| Дополнительные опции |
|