Установка Accura M – это ручная установка монтажа кристаллов методом Flip-Chip (перевернутый кристалл), которая гарантирует точность совмещения до ±3 мкм. Данная установка позволяет вручную совмещать компоненты с высокой точностью. Моторизованная рабочая голова позволяет точно контролировать усилие прижима кристалла. Опциональный контроллер температуры для подложкодержателя и рабочей головы позволяет выполнять термокомпрессионный монтаж (thermocompression die bonding) кристалла, а также оплавление припоя (reflow) с высокой воспроизводимостью результатов. Установка монтаж кристаллов Accura M подходит для лабораторных и научно-исследовательских задач.
Размер подложки (Д×Ш) | 0.2×0.2 - 100×100 мм |
---|---|
Размер кристалла (Д×Ш) | 0.2×0.2 - 22×22 мм |
Монтажная голова | Без подогрева; с нагревом до 400˚С; |
Привод головы | Моторизованный |
Сила прижима | 0.2 - 200N |
Точность монтажа (post-bond accuracy) | ±3 мкм |
Разрешение по оси Z | 0.1 мкм |
Рабочий стол X-Y-Theta | Ручное перемещение |
Размеры рабочего стола | 22×22 мм, 50×50 мм, 100×100 мм |
Перемещение по углу | ±5˚, разрешение 20 мкград |
Система оптического совмещения | 2 цифровых камеры с разрешением 0.4 мкм/пиксель |
Поле зрения | 800×600 мкм |
Система управления | GUI-интерфейс с сенсорным управлением |
Габаритные размеры (Ш×Г×В) | 900×550×650 мм |
Вес | 120 кг |
Дополнительные опции |
|