Описание
Установка Accura Opto – это полуавтоматическая установка монтажа кристаллов, которая разработана специально для задач оптоэлектроники и фотоники, где требуется точность монтажа post-bond ±0.5 мкм (точность совмещения +/-0.1мкм) и низкое усилие прижима кристалла. Загрузка и выгрузка образцов осуществляются оператором вручную, а сам процесс совмещения и монтажа компонентов в ручном или автоматическом режиме по заданной программе-рецепту при помощи машинного зрения. Установка Accura OPTO воплощает высокоточный монтаж кристаллов, гибкость конструкции и легкость управления для производства лазерных диодов, лазерных полосок, светодиодов и различных микросборок.
Области применения
- Монтаж кристаллов методом Flip-chip.
- Лазерные диоды, лазерные полоски (laser bar).
- VCSEL лазеры.
- Светодиоды, фотодиоды.
- 3D Микросборки (chip-to-chip, chip-to-substrate).
- Оптоэлектронные и оптические компоненты.
- МЭМС.
- Монтаж кристалла на клей или припой (face-up die bonding).
Особенности
- Разработана специально для работы с хрупкими компонентами.
- Встроенное гранитное основание обеспечивает минимум вибраций.
- Ручной или автоматический режим монтажа кристаллов.
- Точность монтажа ± 0.5 мкм (post-bond accuracy).
- Точность совмещения между кристаллом и подложкой ±0.1 мкм (alignment accuracy).
- Монтажная голова и рабочий стол оснащены моторизованным приводом.
- Автоматическая смена инструмента для работы с кристаллами разного размера.
- Простой и удобный интерфейс управления с сенсорным дисплеем.
- Компактные размеры и минимум рабочего пространства для эксплуатации.
- Высокая точность и воспроизводимость результатов монтажа за счет цифрового контроля технологических параметров (усилие, температура, и др.).
Технические характеристики
| Размер подложки (Д×Ш) | 0.2×0.2 - 100×100 мм |
|---|---|
| Размер кристалла (Д×Ш) | 0.2×0.2 - 22×22 мм |
| Монтажная голова | Без подогрева; с нагревом до 400˚С; |
| Привод головы | Моторизованный |
| Усилие монтажа | 0.2 – 10N |
| Точность монтажа (post-bond accuracy) | ±0.5 мкм |
| Точность совмещения (alignment accuracy) | ±0.1 мкм |
| Разрешение по оси Z | 0.01 мкм |
| Рабочий стол X-Y-Theta | Моторизованный |
| Размеры рабочего стола | 22×22 мм, 50×50 мм, 100×100 мм (на выбор) |
| Перемещение по углу | ±5˚, разрешение 1 мкград |
| Нагрев | До 400˚С (опция) |
| Система оптического совмещения | Моторизованный привод |
| Оптика | 2 цифровых камеры с разрешением 0.37 мкм/пиксель |
| Поле зрения | 900×700 мкм |
| Система управления | GUI-интерфейс с сенсорным управлением |
| Габаритные размеры (Ш×Г×В) | 900×1150×2080 мм |
| Вес | 550 кг |
| Дополнительные опции |
|
