Установки серии Atto предназначены для плазмохимической обработки образцов малых и средних размеров в R&D-лабораториях и на опытных производствах. В бюджетных малогабаритных установках проводятся все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют получить конфигурацию идеально подходящую под конкретное применение.
Установки Atto представляют собой модификацию серии Zepto с камерой увеличенного объема 10,5 л и более мощным генератором (200 Вт для версии 40 кГц). Основными преимуществами установок серии Atto являются низкая стоимость и малые сроки изготовления. Установки Atto самые популярные в низкобюджетном сегменте благодаря идеальному соотношению функциональности, производительности и стоимости.
Области применения
- Керамика 60×48 мм: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
- Полупроводниковые пластины до 6″: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
- Печатные платы малого размера: очистка отверстий и поверхности перед монтажом;
- Обработка объемных образцов: электроника, приборостроение, медицина и др.;
- R&D и исследования.
Технические характеристики установок серии Atto
| Камера | Круглая камера из боросиликатного стекла или кварца с крышкой Ø211 мм, глубина 300 мм |
| Объем камеры | 10,5 л |
| Газовая система | Игольчатые клапаны, ротаметры |
| Генератор плазмы |
|
| Электрод | Одно- или многоуровневый электрод |
| Управление |
|
| Датчик давления | Пирани |
| Загрузка образцов |
|
| Вакуумный насос | Различные варианты под требования заказчика |
| Габариты (Ш×В×Г) | 425×275×450 мм |
