Установка скрайбирования JFP Microtechnic S-100 предназначена для надрезания алмазным инструментом и разламывания пластин диаметром до 100 мм из хрупких материалов, таких как GaAs и кремний. В режиме разламывания используется майларовая пленка, на которую устанавливается пластина, после чего происходит разламывание пластины на кристаллы с помощью линейного ножа. Пленка защищает поверхность пластины от загрязнений и чрезмерного механического воздействия, что в результате позволяет получить чистые и неповрежденные кристаллы. Установка проста в управлении даже для начинающих пользователей.
Рабочая головка:
- возможность перемещения по оси Z с регулировкой угла поворота;
-
возможность регулировки алмазного инструмента по углу и повороту, смещение инструмента с помощью перекрестия.
Рабочий стол:
- ручное вращение стола на 90°;
-
настройка положения с помощью микрометрических винтов;
-
постепенное перемещение при помощи джойстика.
Видеосистема:
- оптическая система с увеличением, соответствующим применению;
-
совмещение — программируемая область/вручную;
-
17” монитор и цветная CCD-камера высокого разрешения;
-
генератор перекрестия;
-
светодиодная подсветка.
Модуль разлома:
- управление в автоматическом режиме или контроль оператора
-
в режиме разлома верхняя сторона защищается майларовой пленкой, разлом выполняется снизу