Описание
Установки совмещения и экспонирования AG500-4N-ST / AG500-6N-ST являются надежным, гибким и бюджетным инструментом для решения полного спектра задач фотолитографии. Модели AG500-4N-ST/AG500-6N-ST предназначены для работы с пластинами диаметром до 100/150 мм соответственно, включая возможность работы с пластинами 60х48 мм. Оборудование может исполняться как с ручным перемещением основных механизмов, так и в полностью моторизованном варианте для работы в полуавтоматическом или автоматическом режиме. Опционально оснащаются системами совмещения по обратной стороне: инфракрасной или оптической с использованием видеокамер.
Оборудование для фотолитографии AG500-4N-ST / AG500-6N-ST имеет возможность работы в режиме Proximity Leveling Flag для максимально точного позиционирования пластины параллельно шаблону, в том числе, при печати с зазором. Кроме высоких показателей параллельности пластины шаблону данный режим позволяет для ряда применений в несколько раз увеличить срок службы фотошаблона, так как непосредственного контакта шаблона и пластины в режиме PLF не происходит. Наибольшие преимущества режим PLF имеет при работе с подложками 60х48 мм.
Технические характеристики
| |
AG500-4N-ST | AG500-6N-ST |
|---|---|---|
| Источник света | Ультрафиолетовая лампа или светодиодный источник UV-LED | |
| Длина волны, нм | 350 – 450 | |
| Мощность лампы, Вт | 500 | |
| Время жизни лампы, ч | >1000 | |
|
Интенсивность освещения, мВт/см2 |
≥25 (365) ≥40 (365) |
|
| Равномерность освещения, % | <±3 | |
| Диаметр эффективной освещаемой зоны, мм | >100 | >150 |
| Режимы экспонирования |
Вакуумный контакт Жесткий контакт Мягкий контакт Микрозазор |
|
| Разрешение, мкм |
Вакуумный контакт: ≤0,6 Жесткий/мягкий контакт: 1 – 2 Микрозазор: ≤5 |
|
| Размер обрабатываемых подложек, мм | 60x48, 50,75,100 | 60x48, 50, 75, 100, 150 |
|
Максимальный размер фотошаблона, мм2 |
До 127 х 127 | До 178 х 178 |
| Максимальный зазор, мкм | 1000 | |
| Шаг выставления зазора, мкм | 1 | |
| Система оптического совмещения | Двупольный видеомикроскоп | |
| Совмещение по обратной стороне (опция) | ИК или оптическое с видеокамерами | |
| Точность прямого совмещения, мкм | ±1 | |
|
Точность обратного совмещения (ИК или оптического), мкм (опция) |
±2 | |
| Система управления | На базе ПЛК | |
| Интерфейс | Сенсорный дисплей | |
| Виброизоляция | Специальный виброизоляционный стол из нержавеющей стали на 4-х опорах | |
| Габариты (ШхГхВ), мм | 900 х 1200 х 1900 | |
