Установки прямого экспонирования MIVA Technologies серий 1212L MW/ 1225L MW/1250L MW/2012L MW предназначены для формирования топологии проводящего рисунка печатной платы непосредственно на фоторезисте или защитной паяльной маске, нанесённых на заготовку печатной платы. В них применяется уникальная технология оптического мультиплексирования, позволяющая формировать рисунок с высоким разрешением за один цикл. Новое поколение контроллеров позволяет точно дозировать энергию засветки по всей ширине полосы. Встроенная камера позволяет выполнять совмещение экспонируемых слоев по уже существующим структурам на подложке, а также измерять линейные отклонения методом захвата реперных точек и калибровать систему.
Благодаря четырем мощным ультрафиолетовым светодиодам в источнике излучения установки прямого экспонирования MIVA серий 1212L MW/ 1225L MW/1250L MW/2012L MW позволяют работать со всеми типами фоточувствительных материалов, применяемых в производстве печатных плат на сегодняшний день.
Технические характеристики
| Модель | 1212L MW | 1225L MW | 1250L MW | 2012L MW |
|---|---|---|---|---|
| Максимальный размер подложки, мм | 300×400 | 510×610 | ||
| Разрешение, мкм | 12 | 25 | 50 | 12 |
| Источник излучения | 4 высокоэнергетичных УФ СИД | |||
| Точность позиционирования | ±4 мкм | |||
| Максимальное отклонение положения элементов топологии от заданного положения по всей площади экспонирования, 3 σ | ±4 мкм | |||
| Системы совмещения сторон | Оптико-механическая Оптическая (со встроенной системой формирования меток) |
|||
| Тип освещения для захвата меток | Зеленое и ИК | |||
| Автофокус | Лазерный | |||
| Разрешение системы позиционирования по осям X и Y | 20 нм | |||
| Разрешение системы позиционирования по оси Z | 625 нм | |||
| Язык интерфейса управления установкой | русский | |||
| Защита от вибраций | Встроенное антивибрационное основание | |||
| Требования к среде | Температура 21 ± 2 °С Влажность 50% |
|||
| Электропитание | 220 В, 50 Гц | |||
| Сжатый воздух или азот | 150 л/мин. при 5 бар | |||
| Габариты (Ш×В×Г), мм | 1100×1780×1050 | 1220×1780×1480 | ||
| Вес, кг | 700 | 750 | ||
