Описание
| Поток (slm) | 500-800 |
| Размеры (мм) | 700×700×1600 |
| Вес (кг) | 220 |
| Сертификация | CE SEMI2 |
| Блокировка | Датчик расхода, датчик уровня и т.д. |
| Газ | CL2, HF, HCl,BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3, и другие |
| Эффективность | Более 99,99% |
| Электропитание | 380 В, 3 кВт |
| Продувка N2 | 4-7 атм, 0-100 slm |
| Вода | 2-5 атм, 2-5 л/мин |
| Кислотный слив | 2-5 л/мин, DN 25 |
| Газовый вход | DN80 |
| Выхлоп очищенного газа | DN80 |
