Печь оплавления припоя RSO 200-HV

Установки UniTemp серии RSO предназначены для быстрой низкотемпературной обработки полупроводниковых пластин, различных изделий, корпусов и компонентов. Типичным применением являются: термические процессы в атмосфере чистого водорода и паров муравьиной кислоты, оплавление припоя, герметизация корпусов, научно-исследовательские работы и обучение. Настольные компактные установки RSO прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.

Установка RSO 200-HV представляет собой модификацию печи RSO 200 с возможностью работы в высоком вакууме до 10-6 мбар. Печь RSO 200-HV имеет рабочую нагреваемую область 200×170 мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную. Максимальная температура процесса — до +650 °С. Максимальная скорость нагрева — до 10 К/с. Нагрев осуществляется за счет инфракрасных ламп. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде, включая чистый водород и пары муравьиной кислоты. Управление выполняется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.

Опции

• Дополнительная газовая линия с ротаметром (всего до 4 шт.)
• Модуль подачи муравьиной кислоты
• Оснастка для работы с чистым водородом
• Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
• Дополнительная термопара
• Различные вакуумные насосы
• Чиллер
• Дополнительная камера
• Специальные опции под заказ

Технические характеристики установки RSO 200-HV