Характеристики
Серия
RSO
Мощность нагрева, кВт
9
Скорость нагрева
10 К/с
Рабочая область, мм
200×170×40
Описание
Установки UniTemp серии RSO предназначены для быстрой низкотемпературной обработки полупроводниковых пластин, различных изделий, корпусов и компонентов. Типичным применением являются: термические процессы в атмосфере чистого водорода и паров муравьиной кислоты, оплавление припоя, герметизация корпусов, научно-исследовательские работы и обучение. Настольные компактные установки RSO прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.
Установка RSO 200-HV представляет собой модификацию печи RSO 200 с возможностью работы в высоком вакууме до 10-6 мбар. Печь RSO 200-HV имеет рабочую нагреваемую область 200×170 мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную. Максимальная температура процесса — до +650 °С. Максимальная скорость нагрева — до 10 К/с. Нагрев осуществляется за счет инфракрасных ламп. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде, включая чистый водород и пары муравьиной кислоты. Управление выполняется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.
Опции
- Дополнительная газовая линия с ротаметром (всего до 4 шт.)
- Модуль подачи муравьиной кислоты
- Оснастка для работы с чистым водородом
- Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
- Дополнительная термопара
- Различные вакуумные насосы
- Чиллер
- Дополнительная камера
- Специальные опции под заказ
Технические характеристики установки RSO 200-HV
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Рабочая зона | 200×170 мм |
| Высота камеры | 40 мм |
| Материал камеры | Кварц |
| Смотровое окно | Нет |
| Максимальная температура процесса | +650 °С |
| Скорость нагрева | До 10 K/с |
| Уровень вакуума | До 10-6 мбар (турбомолекулярный насос) |
| Тип нагревателя | 12 ИК-ламп (общая мощность 9 кВт) |
| Температурный контроллер | Встроенный |
| Используемые газы |
Азот, кислород, водород, форминг-газ, пары муравьиной кислоты В базовой комплектации один ротаметр |
| Электропитание | 3×32 А, 380 В |
| Размер установки (Ш×Д×В) | 505×504×580 мм |
| Вес печи | 65 кг |
