Плазмохимическое осаждение
27 товаров
в каталоге
в каталоге
26 доступно под заказ,
доставка возможна по всей России
доставка возможна по всей России
Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического осаждения
| Характеристика\Модель | Тип загрузки | Область загрузки (диаметр, мм) | Технология | Осаждение материала |
|---|---|---|---|---|
| Plasma-Therm Vision 310 PECVD | Открытая/ Бокс | 305 | PECVD | SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
| Plasma-Therm Vision 410 PECVD | Открытая | 406 | PECVD | SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
| Plasma-Therm Takachi HDPCVD | Шлюз | 200 | HDPCVD | Низкотемпературное осаждение SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
| Plasma-Therm Versaline PECVD | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | PECVD | SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
| Plasma-Therm Versaline HDPCVD | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | HDPCVD | Низкотемпературное осаждение SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
| Plasma-Therm LAPECVD | Кассетная | Под заказ | PECVD | SiO2, SixNy |
