Установки совмещения и экспонирования предназначены для совмещения и последующего переноса изображения с фотошаблона на подложку при их непосредственном контакте. Данный метод называется контактной литографией и широко используется при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Его преимущества — это относительная простота и дешевизна оборудования, которое представлено в данном разделе.