Компания SPS-Europe представила новинку — универсальную центрифугу Polos 200 Advanced, предназначенную для выполнения широчайшего спектра технологических задач: нанесения и проявления фоторезиста, жидкостного травления, сушки, отмывки и очистки подложек. Центрифуга продолжает модельный ряд установок ACD200, имеет современный улучшенный дизайн и расширенные функциональные возможности.Конструкция центрифуги Polos 200 Advanced создана так, что на установке можно обрабатывать одну круглую подложку диаметром до 260 мм (полупроводниковые пластины до 8") или прямоугольную размерами до 150×150 мм (6"×6"). Управление центрифугой осуществляется с помощью современного удобного сенсорного дисплея. Система управления оснащена простым интуитивно понятным интерфейсом, позволяет создавать множество рецептов с неограниченным числом шагов, а также выводить данные о протекающем процессе в наглядном графическом виде. Для надежного хранения информации и рецептов имеется защита данных паролем. Загрузка и выгрузка данных при помощи USB-интерфейса предоставляет возможность обработки полученных сведений на любом компьютере, что разрешает использовать установку нескольким операторам, выполняющим разные технологические задачи. Отсоединяемая панель управления предусматривает контролирование процесса извне перчаточного бокса или вытяжного шкафа, что значительно облегчает оператору работу с установкой в лабораторных условиях. Центрифуга может быть выполнена в настольном варианте или же в варианте для встраивания в рабочую поверхность.
Цифровой контроллер скорости вращения мотора центрифуги помогает вести постоянное наблюдение за такими критическими параметрами, как точность поддержания скорости вращения и стабильность оборотов, заданное ускорение, что в результате дает значительное улучшение равномерности обработки образцов. Мотор способен контролировать скорость вращения в диапазоне от 0 до 12000 об/мин. Дозирование рабочего вещества происходит в автоматическом режиме с помощью различных автоматизированных систем подачи. Для обеспечения безопасности оператора в процессе эксплуатации центрифуги ее крышка оснащена магнитным замком.
Стандартная комплектация центрифуги Polos 200 Advanced представляет собой две химические линии и клапан для продувки азотом, находящийся по центру куполообразной крышки. За счет куполообразной конструкции верхней крышки, в центрифуге возможна опциональная установка до шести химических линий без потери равномерности распределения рабочего вещества по поверхности пластины, а также установка клапана для продувки азотом (то есть в сумме до семи линий).
Возможность исполнения бесшовного корпуса Polos 200 Advanced в одном из двух различных материалов высочайшего качества — NPP (натуральный полипропилен, стандартно) и PTFE (политетрафторэтилен, опционально) позволяет использовать в рабочем процессе как стандартные реактивы (фоторезиты, проявители), так и химически активные вещества, необходимые в процессе травления. Дополнительно центрифуга может быть снабжена антистатической крышкой и вкладышами для чаши, выполненными из прозрачного антистатического (108–1010 Ом) полиэтилентерефталата (PET) толщиной 0,5 мм.
Следует также отметить, что установка может быть оснащена следующими опциями:
Цифровой контроллер скорости вращения мотора центрифуги помогает вести постоянное наблюдение за такими критическими параметрами, как точность поддержания скорости вращения и стабильность оборотов, заданное ускорение, что в результате дает значительное улучшение равномерности обработки образцов. Мотор способен контролировать скорость вращения в диапазоне от 0 до 12000 об/мин. Дозирование рабочего вещества происходит в автоматическом режиме с помощью различных автоматизированных систем подачи. Для обеспечения безопасности оператора в процессе эксплуатации центрифуги ее крышка оснащена магнитным замком.
Стандартная комплектация центрифуги Polos 200 Advanced представляет собой две химические линии и клапан для продувки азотом, находящийся по центру куполообразной крышки. За счет куполообразной конструкции верхней крышки, в центрифуге возможна опциональная установка до шести химических линий без потери равномерности распределения рабочего вещества по поверхности пластины, а также установка клапана для продувки азотом (то есть в сумме до семи линий).
Возможность исполнения бесшовного корпуса Polos 200 Advanced в одном из двух различных материалов высочайшего качества — NPP (натуральный полипропилен, стандартно) и PTFE (политетрафторэтилен, опционально) позволяет использовать в рабочем процессе как стандартные реактивы (фоторезиты, проявители), так и химически активные вещества, необходимые в процессе травления. Дополнительно центрифуга может быть снабжена антистатической крышкой и вкладышами для чаши, выполненными из прозрачного антистатического (108–1010 Ом) полиэтилентерефталата (PET) толщиной 0,5 мм.
Следует также отметить, что установка может быть оснащена следующими опциями:
- удаление краевого валика (edge bead remover — EBR). Благодаря наличию в рабочей области дополнительной форсунки можно удалять излишки реагента (фоторезиста), скапливающегося на краю подложки.
- отмывка с обратной стороны (back side rinse — BSR). Благодаря наличию в рабочей области дополнительной форсунки можно отмывать обратную сторону подложки от реагентов (в том числе от фоторезиста).
- мегазвуковая обработка. В отличие от обработки ультразвуком мегазвуковая обработка позволяет работать со сверхтонкими пластинами, а также чувствительными структурами, такими как МЭМС, ИС, оптические слои, не повреждая их. Использование встроенного устройства мегазвуковой обработки, по сравнению с мегазвуковой ванной, обеспечивает уменьшение расхода реагентов, увеличение производительности установки, улучшение однородности распределения рабочего вещества, а также значительно сокращает продолжительность самого процесса.
