Безмасковая литография – это метод печати изображения непосредственно на подложке без фотошаблона. Метод применяется для создания фотошаблонов, прототипирования и изготовления малых партий изделий с топологией высокого разрешения – порядка 0,6 мкм.
Главным преимуществом метода является отсутствие необходимости использования дорогостоящих и недолговечных фотошаблонов. Основной недостаток – низкая производительность по сравнению с контактной литографией.
Установки безмасковой литографии часто применяются как для исследований, так и для многономенклатурного производства.