Система прямой оптической литографии POLOS µWriter
POLOS µWriter является бюджетным настольным решением для прямой литографии на фотошаблонах и подложках при требованиях к разрешению до 8мкм. Источником излучения является классический ультрафиолетовый твердотельный лазер с длиной волны 405нм, прекрасно подходящий для экспонирования большинства фоторезистов. Система обладает набором объективов, позволяющих оператору регулировать соотношение скорость/разрешение в широких пределах. Вся установка занимает один стол и не требует сложной инфраструктурной обвязки, для ее работы необходимо только электричество.
Данная система прекрасно подойдет для исследовательских институтов, лабораторий, мелко и среднесерийных производств. На установке можно экспонировать как фотошаблоны, так и подложки размером до 102х102мм.
| Источник излучения | Твердотельный УФ лазер |
| Длина волны | 405нм |
| Максимальный размер заготовки | 102х102мм |
| Максимальная область экспонирования | 100х92мм |
| Скорость экспонирования | 1,7 – 21,2 мм2/мин (зависит от выбора объектива и режима экспонирования) |
| Автофокус | Есть |
| Камера для распознавания меток | Есть |
| Возможность использования установки в качестве оптического микроскопа | Есть |
| Система управления | ПК |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц 16А |
| Габариты (ШхГхВ) | 510х360х455 мм |
