Установка четырехзондового измерения сопротивления RT-70V

Установка четырехзондового измерения оснащается зондом с ручным движением по оси Z. Измерения выполняются вручную в одной точке, путем опускания зонда на плоский образец диаметром до 200 мм, и показания измерений выводятся на измерительный блок. Измерительный блок RT-70V с удобным и простым поворотным переключателем поддерживает следующие режимы измерений: отношение V/I, удельное электрическое сопротивление (BULK), поверхностное сопротивление (Sheet). В установке имеется функция автоматического изменения диапазона измерений и функция самопроверки корректности работы. Для кремниевых образцов возможно задать коррекцию по толщине и температуре. Широкий спектр рабочих материалов, измерения в соответствии со стандартами ASTM, компактный дизайн и простота использования позволяют использовать установку как в научно-исследовательских целях, так и на мелкосерийном производстве.

В зависимости от задач пользователя, возможны конфигурации с автоматизацией измерений (построение 2D/3D карт сопротивления) и конфигурация для работы со слитками кремния (Si), германия (Ge) и другими материалами.

Измеряемые материалы:

• Полупроводниковые материалы, материалы солнечных элементов (Si, poly-Si, SiC и т.д.)
• Наноматериалы (углеродные нанотрубки, DLC, графен, серебряные нанопроволоки и т.д.)
• Тонкие проводящие пленки (металл, ITO, IZO т.д.)
• Эпитаксиальные слои, легированные образцы
• Сложные полупроводниковые материалы (GaAs, GaN, InP, GaSb, и т.д.) 

Особенности:

• Измерения в соответствии со стандартами ASTM (SEMI)
• Простота использования и компактный дизайн
• Возможность работы с пластинами диаметром до 200 мм (опционально до 300 мм)
• Возможность работы с квадратными и прямоугольными подложками
• Легкость настройки измерений с помощью поворотного переключателя