Установка четырехзондового измерения оснащается зондом с ручным движением по оси Z. Измерения выполняются вручную в одной точке, путем опускания зонда на плоский образец диаметром до 200 мм, и показания измерений выводятся на измерительный блок. Измерительный блок RT-70V с удобным и простым поворотным переключателем поддерживает следующие режимы измерений: отношение V/I, удельное электрическое сопротивление (BULK), поверхностное сопротивление (Sheet). В установке имеется функция автоматического изменения диапазона измерений и функция самопроверки корректности работы. Для кремниевых образцов возможно задать коррекцию по толщине и температуре. Широкий спектр рабочих материалов, измерения в соответствии со стандартами ASTM, компактный дизайн и простота использования позволяют использовать установку как в научно-исследовательских целях, так и на мелкосерийном производстве.
В зависимости от задач пользователя, возможны конфигурации с автоматизацией измерений (построение 2D/3D карт сопротивления) и конфигурация для работы со слитками кремния (Si), германия (Ge) и другими материалами.
Измеряемые материалы:
- Полупроводниковые материалы, материалы солнечных элементов (Si, poly-Si, SiC и т.д.)
- Наноматериалы (углеродные нанотрубки, DLC, графен, серебряные нанопроволоки и т.д.)
- Тонкие проводящие пленки (металл, ITO, IZO т.д.)
- Эпитаксиальные слои, легированные образцы
- Сложные полупроводниковые материалы (GaAs, GaN, InP, GaSb, и т.д.)
Особенности:
- Измерения в соответствии со стандартами ASTM (SEMI)
- Простота использования и компактный дизайн
- Возможность работы с пластинами диаметром до 200 мм (опционально до 300 мм)
- Возможность работы с квадратными и прямоугольными подложками
- Легкость настройки измерений с помощью поворотного переключателя
Технические характеристики
| Метод измерений |
DC 4-point ASTM F 43 ASTM F 84-99 ASTM F 374-00a ASTM F 390-11 ASTM F 1529-97 |
| Материал образца | Si, poly-Si, SiC, Ge, DLC, ITO, IGZO, GaAs Epi, GaN Epi, InP, Ga углеродные нанотрубки, графен, проводящие металлические пленки, легированные образцы |
| Размер образца |
Образцы диаметром до 200 мм (300мм опция) Толщина: до 10 мм |
| Диапазон измерения удельного электрического сопротивления |
1,0 мкΩ∙см – 300 кΩ∙см (для пластин толщиной 0,01 – 9999,99 мкм) |
| Диапазон измерения поверхностного сопротивления | 5 мΩ/□ – 10 МΩ/□ |
| Диапазон измерения отношения V/I | 1 мΩ – 3 МΩ |
| Время измерения в одной точке | Не более 3 сек |
|
Точность измерений Воспроизводимость измерений |
< 1% ≤ 0,7% |
| Зонды |
Материал: карбид вольфрама (TC) Радиус скругления зонда: 40 мкм (другие по запросу) Расстояние между зондами: 1 мм |
| Управление | Ручное + измерительный блок RT-70V с поворотным переключателем |
| Функция поправки на температуру (для кремния) | Наличие |
| Функция самопроверки корректности работы | Наличие |
| Электропитание | AC 220В ±10%, 50/60 Гц, однофазное |
