Установка магнетронного напыления SP-compact
Малогабаритная установка магнетронного напыления SP-compact представляет собой упрощенный вариант установки SP-203. Установка рассчитана на один образец диаметром до 3” или одну подложку 60х48 мм. Установка оснащается одним магнетроном и специальными держателями для одной, двух или трех мишеней по выбору заказчика и наиболее подходит для R&D задач.
Технические характеристики
| Диаметр держателя подложек, мм | До 75, или специальный по ТЗ |
| Размер подложек, мм | 60х48 (или 2–3”) |
| Количество, шт. | 1 |
| Диаметр магнетронов, дюйм | 2–3 |
| Тип блоков питания | DC или RF |
| Нагрев образцов | Опция |
| Система откачки | Сухой спиральный насос + турбомолекулярный насос |
| Предельное давление | 10-7 Торр |
| Контроль давления | Автоматический |
| Скорость вращения подложки, об./мин. | 5–30 |
| Равномерность по толщине | ±3%, зависит от конфигурации |
| Система управления | ПЛК |
| Отслеживание толщины | Время или кварцевый толщиномер |
| Смотровое окно | Есть |
| Опции |
Система нагрева Система охлаждения Другие опции под заказ |
