Установка плазменной обработки CUTE-2MP
| Тип установки | плазма низкого давления |
| Вакуумная камера | прямоугольная (алюминий), ШхГхВ: 140 x 200 x 110 (мм) |
| Материал камеры | Алюминий |
| Подвод газа | до 3-х газовых линий с MFC - Max.100 sccm (1 sccm шаг) |
| Генератор плазмы | 20-100 кГц, с шагом 10 кГц |
| мощность до 100Вт, шаг 1 Вт. | |
| Контроль | Ручной или автоматический |
| 7" тач дисплей, PLC | |
| Размеры | корпус : 440×500×560 (W×D×H, mm) |
| вакуумный насос: 460×160×250 (W×D×H, mm) | |
| Подключение | 220 В, 50 Гц |
