Установка термического напыления TH-mini
Установка термического напыления TH-mini специально разработана для использования в R&D лабораториях и на пилотных производствах. Установка проста в эксплуатации и универсальна, обеспечивает хорошую повторяемость результатов при осаждении одно- и многослойных пленок.
Технические характеристики:
| Габариты камеры | Ø350 мм, высота 440 мм |
| Размер вольфрамовой лодочки | 100 х 10 мм (2 шт. в комплекте) |
| Размер подложек | 3” |
| Подогрев подложек | До 320°C |
| Скорость вращение подложки | 5 – 30 об./мин. |
| Равномерность по толщине | ≤ ±5% |
| Предельное давление | 10-7 Торр |
| Система управления | ПЛК |
| Отслеживание толщины | Время или кварцевый толщиномер |
| Смотровое окно | Есть |
| Опции |
Система нагрева Система охлаждения Другие опции под заказ |
