Установки дисковой резки NeonTech серий NDS-4200 и NDS-5200
Полностью автоматизированные установки дисковой резки NeonTech серий NDS-4200 и NDS-5200 предназначены для работы с образцами диаметром до 200 и 300 мм соответственно. Установка представляет собой комплекс, состоящий из модулей резки образцов и их отмывки. Цикл обработки образцов, предусматривающий операции выгрузки образцов из кассеты, совмещения, резки, отмывки и загрузки в кассету, проводится в полностью автоматизированном режиме и не требует вмешательства оператора. Массивное гранитное основание, прецизионный рабочий стол и высокая скорость оборотов шпинделя повышенной мощности (2,4 кВт) позволяют быстро и точно резать большое количество различных материалов, таких как кремний и ряд других полупроводников, керамика, BGA, LED, PCB и прочие материалы.
Типичные применения:
Типичные применения:
- керамика 60×48 мм;
- полупроводниковые пластины до 300 мм;
- печатные платы;
- корпуса;
- R&D и исследования.
| Параметр | Значение | ||
| NDS-4200 | NDS-5200 | ||
| Максимальный размер подложки | Ø8”(Ø200мм) | Ø12”(Ø300 мм) | |
| Совмещение | Автоматическое | ||
| Загрузка/выгрузка | Автоматическая, из кассеты в кассету | ||
| Отмывка после резки | Автоматическая (встроенный модуль) | ||
| Шпиндель | Скорость вращения | 5 000 — 60 000 об/мин | |
| Мощность | 2,4 кВт | ||
| Ось X | Ход | 400 мм | 500 мм |
| Длина реза | 0,01–210 мм | 0,01–310 мм | |
| Скорость реза | 0,01–400 мм/с | ||
| Минимальный шаг | 1 мкм | ||
| Ось Y | Ход | 250 мм | 350 мм |
| Диапазон перемещения | 0,0001–210 мм | 0,0001–310 мм | |
| Скорость перемещения | 200 мм/с | ||
| Минимальный шаг | 0,1 мкм | ||
| Ось Z | Ход | 40 мм | |
| Минимальный шаг | 0,1 мкм | ||
| Ось T | Угол поворота | 380° | |
| Разрешение по углу | 0,000176° | ||
| Камера | Автофокус | ||
| Основные опции |
Бесконтактный детектор высоты Детектор сломанного диска |
||
| Габариты | 1270×1700×1850 мм | 1370×1800×1850 мм | |
| Вес | 2000 кг | 2500 кг | |
