Сравнительная таблица основных характеристик
Модель
|
Объем камеры, л
|
Габариты камеры (наиболее популярный вариант исполнения), мм
|
Габариты корпуса установки (Ш×В×Г), мм
|
Лабораторные и мелкосерийные установки
|
Zepto
|
1,7–2,6
|
Ø105, Г 300
|
425×185×450
|
Atto
|
10,5
|
Ø211, Г 300
|
425×275×450
|
Femto
|
1,9-6
|
Ø100, Г 270
|
345×220×420
|
Pico
|
4–15
|
Ø150, Г 320
|
550×330×500
|
Nano
|
18–36
|
Ø267, Г 420
|
580×650×600
|
Производственные установки
|
Tetra-30
|
34–57
|
305×300×370
|
600×2200×650
|
Tetra-100
|
80–100
|
400×400×625
|
600×2200×800
|
Tetra-150
|
150
|
400×325×600
|
1000×2100×1000
|
Tetra-Х
|
Специальные установки нестандартных размеров изготовляются по индивидуальному заказу. Производились камеры различных форм объемом более 12 600 л
|
Опции и справочная информация
Сравнительная таблица различных типов генераторов плазмы
Тип генератора
|
40/80/100 кГц
|
13,56 МГц
|
2,45 ГГц
|
Примеры применения
|
- Back-end (полупроводники, керамика)
- Очистка PCB и других материалов
- Активация, травление материалов (различные отрасли промышленности)
- R&D
|
- Front-end и back-end (полупроводники);
- R&D
|
Низкая стоимость
|
+++
|
+
|
++
|
Надежность
|
+++
|
++
|
+
|
Однородность плазмы
|
+++
|
++
|
+
|
Использование вращающегося металлического барабана
|
+++
|
+++
|
+
|
Скорость травления
|
+
|
+++
|
+++
|
Простота ремонта
|
+++
|
+
|
+++
|
Примечание. +++ — наилучший показатель
Сравнительная таблица различных типов управления
Ручное
|
Автоматическое (ПЛК)
|
Автоматическое (ПК)
|
Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются вручную нажатием кнопок на передней панели. Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление также задаются вручную.
|
Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются автоматически после нажатия кнопки «Старт». Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление задаются вручную при помощи ПЛК.
|
Все действия и процессы управляются с сенсорного экрана ПК. Возможно создание и запись рецептов. Программное обеспечение позволяет вести статистику процессов. На экране в реальном времени отображаются графики изменения всех параметров текущего процесса.
|
Различные опции и оснастка для установок плазменной обработки
Лотки и загрузочные устройства
|
- Прямоугольные лотки (алюминий, сталь, стекло, кварц)
- Лодочки для полупроводниковых пластин (стекло, кварц)
- Металлические поддоны и держатели для печатных плат
- Барабаны для обработки деталей и порошков (алюминий, сталь)
|
Подача газа
|
- Ручные расходомеры с игольчатыми клапанами
- Аналоговые и цифровые РРГ
|
Насосы
|
- Масляные (различного типа)
- Сухие (мембранные, спиральные)
|
Датчики давления
|
- Датчик Пирани
- Баратрон на различные диапазоны давления
|
Комплекты ЗИП
|
- Различные варианты по требованию заказчика
|
Аксессуары
|
- Клетки Фарадея для обработки деталей
- Емкости и системы подачи мономеров в камеру
- Тестовые чернила для проверки качества плазменной обработки
- Тестовая бумага для проверки качества плазменной обработки
- Система медленного напуска камеры
- Система медленной откачки камеры
- Другие аксессуары по запросу
|