Сравнительная таблица основных характеристик
Модель |
Объем камеры, л |
Габариты камеры (наиболее популярный вариант исполнения), мм |
Габариты корпуса установки (Ш×В×Г), мм |
Лабораторные и мелкосерийные установки |
Zepto |
1,7–2,6 |
Ø105, Г 300 |
425×185×450 |
Atto |
10,5 |
Ø211, Г 300 |
425×275×450 |
Femto |
1,9-6 |
Ø100, Г 270 |
345×220×420 |
Pico |
4–15 |
Ø150, Г 320 |
550×330×500 |
Nano |
18–36 |
Ø267, Г 420 |
580×650×600 |
Производственные установки |
Tetra-30 |
34–57 |
305×300×370 |
600×2200×650 |
Tetra-100 |
80–100 |
400×400×625 |
600×2200×800 |
Tetra-150 |
150 |
400×325×600 |
1000×2100×1000 |
Tetra-Х |
Специальные установки нестандартных размеров изготовляются по индивидуальному заказу. Производились камеры различных форм объемом более 12 600 л |
Опции и справочная информация
Сравнительная таблица различных типов генераторов плазмы
Тип генератора |
40/80/100 кГц |
13,56 МГц |
2,45 ГГц |
Примеры применения |
- Back-end (полупроводники, керамика)
- Очистка PCB и других материалов
- Активация, травление материалов (различные отрасли промышленности)
- R&D
|
- Front-end и back-end (полупроводники);
- R&D
|
Низкая стоимость |
+++ |
+ |
++ |
Надежность |
+++ |
++ |
+ |
Однородность плазмы |
+++ |
++ |
+ |
Использование вращающегося металлического барабана |
+++ |
+++ |
+ |
Скорость травления |
+ |
+++ |
+++ |
Простота ремонта |
+++ |
+ |
+++ |
Примечание. +++ — наилучший показатель
Сравнительная таблица различных типов управления
Ручное |
Автоматическое (ПЛК) |
Автоматическое (ПК) |
Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются вручную нажатием кнопок на передней панели. Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление также задаются вручную. |
Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются автоматически после нажатия кнопки «Старт». Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление задаются вручную при помощи ПЛК. |
Все действия и процессы управляются с сенсорного экрана ПК. Возможно создание и запись рецептов. Программное обеспечение позволяет вести статистику процессов. На экране в реальном времени отображаются графики изменения всех параметров текущего процесса. |
Различные опции и оснастка для установок плазменной обработки
Лотки и загрузочные устройства |
- Прямоугольные лотки (алюминий, сталь, стекло, кварц)
- Лодочки для полупроводниковых пластин (стекло, кварц)
- Металлические поддоны и держатели для печатных плат
- Барабаны для обработки деталей и порошков (алюминий, сталь)
|
Подача газа |
- Ручные расходомеры с игольчатыми клапанами
- Аналоговые и цифровые РРГ
|
Насосы |
- Масляные (различного типа)
- Сухие (мембранные, спиральные)
|
Датчики давления |
- Датчик Пирани
- Баратрон на различные диапазоны давления
|
Комплекты ЗИП |
- Различные варианты по требованию заказчика
|
Аксессуары |
- Клетки Фарадея для обработки деталей
- Емкости и системы подачи мономеров в камеру
- Тестовые чернила для проверки качества плазменной обработки
- Тестовая бумага для проверки качества плазменной обработки
- Система медленного напуска камеры
- Система медленной откачки камеры
- Другие аксессуары по запросу
|